百人會論壇2020|伍理勳:車規級功率半導體器件的認識和理解
2020年1月10-12日,以"把握形勢聚焦轉型引領創新"為(wei) 主題,由中國電動汽車百人會(hui) 精心策劃第六屆年度論壇--中國電動汽車百人會(hui) 論壇(2020)在北京釣魚台國賓館正式召開,會(hui) 議繼續秉持"傳(chuan) 遞權威信息、廣泛展開討論、促進溝通合作"的目標,試圖幫助業(ye) 界人士梳理分析產(chan) 業(ye) 形勢,探討及回應產(chan) 業(ye) 關(guan) 切的問題,尋找今後3-5年產(chan) 業(ye) 調整的方向及路徑。
論壇現場,中車時代電動汽車股份有限公司首席專(zhuan) 家伍理勳發表了主題演講。
以下為(wei) 伍理勳老師的演講實錄:
中車時代電動汽車股份有限公司首席專(zhuan) 家伍理勳
大家好!我今天闡述一下對車規級功率半導體(ti) 器件的認識和理解。
主要從(cong) 以下四個(ge) 方麵:
電動汽車首先是電動化,功率半導體(ti) 是汽車電動化最核心的器件,我們(men) 說是電動汽車之芯,是實現能量轉換的最核心的部件。以一個(ge) 車為(wei) 例,一個(ge) 撤一台控製器,用一個(ge) 六單元的IGBT會(hui) 用到36個(ge) 芯片、240個(ge) 元胞,是一個(ge) 大的集成器件。我們(men) 談功率半導體(ti) 的時候都會(hui) 講到芯片和模塊,下麵的匯報思路也是按照芯片和模塊這個(ge) 思路來匯報的。
從(cong) IGBT芯片發展現狀和發展過程可以看出來,經過多次技術迭代以後,從(cong) 平麵柵、構槽柵、到精細構槽柵到逆導結,性能都在不停提升和發展過程中。目前我們(men) 看到這幾個(ge) 企業(ye) 相關(guan) 產(chan) 品代次的對於(yu) 關(guan) 係,這其中包括中車的產(chan) 品。
除了IGBT以外,現在碳化矽也是目前行業(ye) 研究的熱點,國內(nei) 外都在做相關(guan) 的技術研究,我們(men) 與(yu) 國外的技術還是有代的差異的,包括Cree已經到第三代,中國還是第一代的水平。產(chan) 業(ye) 體(ti) 係方麵,國外6英寸、8英寸,中國可能還在4英寸的水平。芯片以外就是模塊。模塊就是把芯片封裝成一個(ge) 部件,現在我們(men) 在車規級的線上可以看到大概有三種模塊形式:第一種標準模塊,第二種是分離機械加雙麵冷卻,第三種是集成化組件,都有一些相關(guan) 的車企或者零部件公司都有相應的方案。
標準模塊。我們(men) 看多比較有代表性的就是英飛淩,富士,國內(nei) 中車也有相應的產(chan) 品,主要特征就是Pin—Fin結構等。目前的水平單模塊可以做到100多千瓦的水平。另外一個(ge) 模塊技術路線就是雙麵冷卻技術路線,主要是可以降低熱阻,比普通的工業(ye) 級模塊熱阻低30%到50%,平麵封裝形式可以降低雜散參數、提高可靠性,下麵的圖展示了雙麵冷卻模塊發展的技術路線。
碳化矽的封裝形式,目前大概兩(liang) 種,一個(ge) 是標準的TO封裝,還有就是類似於(yu) IGBT的封裝形式,TO封裝和標準模塊封裝各有優(you) 缺點,這裏簡單列了一下,而且可以看到主要的半導體(ti) 廠家都已經推出了碳化矽器件,包括中車。各種功率半導體(ti) 器在汽車領域的應用我們(men) 列了一張表,商用車、乘用車、車載便流器可能有不同的應用要求。比如說商用車,大部分目前為(wei) 止還是平板散熱這種方式,乘用車雙麵冷卻和Pin—Fin是主要的技術路線,電源產(chan) 品可能更多是TO封裝這種形式,未來我們(men) 認為(wei) 碳化矽、高效散熱、集成化是未來主要的技術路線和方向。
現在車規級器件還有很多技術難點需要我們(men) 攻克。首先芯片角度,車對芯片的要求,我們(men) 概括有以下三個(ge) 方麵:更低成本、更高功率密度、更高工作結溫,因為(wei) 這是車的應用環境所決(jue) 定的。
圍繞解決(jue) 成本的問題,主要思路是把晶圓做到,從(cong) 4英寸、6英寸,到8英寸、到12英寸,都是降低成本的手段。大尺寸晶圓可以提升產(chan) 品的一致性,以8英寸、12英寸為(wei) 例,單片數量會(hui) 增加125%。為(wei) 了提高功率密度,首先是芯片性能的提升,到現在電流能力從(cong) 最早的200安培/平方厘米,現在可以到350,未來可以到500。圍繞提高功率密度還有一種方法,精細溝槽刪技術做到亞(ya) 微米級以後,損耗進一步降低,也是提高功率的有效手段。還有把晶圓做薄,越薄熱阻越低、損耗越低,從(cong) 85uM降到65uM,損耗可以降低20%。
把芯片集成也可以提供功率密度,一般知道一個(ge) IGBT都會(hui) 有一個(ge) 二極管,我們(men) 把二極管和IGBT結合在一起,叫逆導IGBT,還把傳(chuan) 感也結合在一起,可以降低損耗、提高功率密度,同時也可以提高芯片的智能化程度。
為(wei) 了提高IGBT的環境適應性,提高工作溫度也是必須解決(jue) 的問題,提高溫度的適應性主要兩(liang) 個(ge) 方案,一個(ge) 是采用新型的終端材料,另外一個(ge) 是采用新型器件。
模塊發展速度比芯片的發展速度慢一些,主要麵臨(lin) 一些問題,我們(men) 列了兩(liang) 個(ge) 方麵:“電感—熱組”邊界效應的設計問題,還有熱功率密度提升帶來的可靠性問題。針對這些問題我們(men) 也提出了一些解決(jue) 方案:第一,機電的設計,主要解決(jue) 問題是降低熱組,同時把參數進一步優(you) 化。第二,讓芯片的靜態、動態的均流性進一步提升,讓溫度分布更加均勻。
另外,提高功率密度帶來的可靠性問題,主要體(ti) 現在三個(ge) 方麵:芯片正麵的互聯線、綁定線的可靠性,還有芯片背麵焊接的可靠性,還有材料的適應性問題。針對第一個(ge) 問題,綁定性的可靠性,我們(men) 現在主要解決(jue) 方案是采用平麵鍵合的方案,可以有效的提高連接端子互聯的可靠性。還有一個(ge) 方案是正麵金屬化,通過燒結技術提高焊接的可靠性,我們(men) 有一個(ge) 數據可以讓熱循環壽命提高60多萬(wan) 次的水平,標準3萬(wan) 次就可以。還有一個(ge) 提高可靠性的方案柔性互聯技術,可以提高端子的可靠性。還有一個(ge) 方案是銀/銅燒結技術,可以把熱組降低25%,可靠性可以成倍提升。
提高IGBT環境適應性的四個(ge) 方麵,在灌封材料、導熱矽子都在做相應溫度的提升,能耐受到175度的環境要求。
另外一個(ge) 提高可靠性的方案,提高散熱性能。現在普遍采用的方案就是以下兩(liang) 種,一個(ge) 是直接水冷,另外一個(ge) 就是雙麵散熱技術,都可以降低熱組、提高產(chan) 品的可靠性。
除了芯片、模塊的一些難點以外,在國內(nei) 產(chan) 業(ye) 化方麵也麵臨(lin) 一些問題。首先是一些製造設備、關(guan) 鍵材料主要依靠進口,另外是人才的短缺也是製約技術進步的一個(ge) 重要方麵。
下一代IGBT發展趨勢,我們(men) 主要談以下幾個(ge) 方麵。
第一,超結技術。超結IGBT技術可以比傳(chuan) 統IGBT技術在損耗方麵進一步降低,同時可以提高MOSFET的耐壓性能。
第二,新型半導體(ti) 技術,其中最主要的就是碳化矽的技術,可以使係統都在高溫、高效、高速下運行,可以進一步優(you) 化係統設計參數。
第三,氮化鉀,但是氮化鉀這個(ge) 外延生成的形式很難大電流,變流器功還是更多使用碳化矽。
第四,矽基IGBT和SIC MOSFET結合在一起的功率半導體(ti) 技術,理論上可以工作在更高的頻率,而且損耗還低。
前麵講到行業(ye) 的情況,還是把中車的情況給大家做一個(ge) 簡要匯報。
中車IGBT研究有十多年的曆史,但是半導體(ti) 的研究有幾十年的曆史。汽車級IGBT研究是從(cong) 2010年開始的,通過這幾年研發已經推出了很多應用於(yu) 汽車的IGBT。芯片能力從(cong) 2008年並購Dynex開始已經到了第六代。模塊封裝方麵,我們(men) 也做了多種形式,滿足不同環境的要求,包括半橋、全橋的模塊都有,也有相應的雙麵冷卻模塊,最大電流可以做到1000安培。產(chan) 品型譜裏麵,涵蓋了30千瓦到200千瓦的產(chan) 品需求。
現在主要講幾個(ge) 典型的產(chan) 品:這個(ge) 內(nei) 部叫S2模塊,可以開發出滿足50多千瓦到70千瓦的功率等級,用於(yu) A級車以下的乘用車產(chan) 品,這是我們(men) 相應的IGBT和相應產(chan) 品的實物圖。還有一個(ge) 是S3(+)模塊,可以做到150千瓦到200千瓦的水平。商用車領域我們(men) 也推出了1200V、600A的M1模塊和HPD模塊,用於(yu) 了相應的車型。目前為(wei) 止我們(men) 所有這些產(chan) 品市麵上能夠使用的數量,在我們(men) 內(nei) 部配套數量超過5萬(wan) 支IGBT。
在碳化矽研究方麵,我們(men) 承擔了國家的一個(ge) 項目,現在已經開發出1200V、400A的模塊,同時開發出功率密度已經做到30.8千瓦的水平,這是我們(men) 中期檢查的實際情況。
總的來說,betway在线官网汽車對IGBT的需求是與(yu) 時俱進的,在不停地提升,對功率密度、可靠性、成本方麵都提出越來越高的要求。我們(men) 認為(wei) IGBT還是有相當長的生命周期,同時碳化矽發展速度可能會(hui) 超出預期。依托我們(men) 中國betway在线官网汽車大的平台,我們(men) 認為(wei) 通過行業(ye) 的共同努力,IGBT技術從(cong) 跟隨到領跑這種跨越,應該在大家努力下指日可待。
謝謝大家!
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